特許

J-GLOBAL ID：200903070770786235

圧電アクチュエータの製造方法

発明者： 伊藤 敦
出願人/特許権者： ブラザー工業株式会社
代理人 (4件)： 石井 暁夫 ,  東野 正 ,  西 博幸 ,  武藤 勝典
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-030315
公開番号（公開出願番号）：特開2004-241669
出願日： 2003年02月07日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：

【課題】圧電アクチュエータの動作単位の複数個分が配置された大判の素材シートを焼成するとき、素材シートの中央部分と周辺部分で収縮量が異なることによる電極のピッチにバラツキを生じることを解消する。【解決手段】圧電アクチュエータ20の各動作単位の複数の領域がマトリックス状に配置された大判の素材シート210、220、230を積層して積層体を形成する工程と、この積層体の平板面に積層体の厚み方向に貫通する切り込み50を前記動作単位を構成する領域どうしの境界の一部に穿設する工程と、その後、その積層体を全面において押圧し一体化する工程と、さらにその後積層体を焼成する工程と、焼成された積層体から圧電アクチュエータを切り離す工程とを有する。【選択図】 図6

請求項（抜粋）：

電極への電圧の印加により変形動作する圧電アクチュエータを、各インク室内の容積を変化させる活性部に対応して電極パターンが表面に形成された複数の圧電シートを積層し、その積層方向に押圧し、焼成により形成する製造方法において、 前記圧電アクチュエータの動作単位の複数個分が一体で形成される大きさを有する大判の素材シートに、各動作単位を構成する領域毎の電極パターンを形成する工程と、 前記複数の領域がマトリックス状に配置された素材シートを積層して積層体を形成する工程と、 この積層体の平板面に積層体の厚み方向に貫通する切り込みを前記動作単位を構成する領域どうしの境界の一部に穿設する工程と、 切り込みが設けられた積層体をその積層方向に押圧し一体化する工程とを、少なくとも有することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。

IPC (6件)：

H01L41/22 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16 ,  H01L41/083 ,  H01L41/09

FI (5件)：

H01L41/22 Z ,  H01L41/08 S ,  H01L41/08 U ,  B41J3/04 103H ,  B41J3/04 103A

Fターム (16件)：

2C057AF93 ,  2C057AG15 ,  2C057AG40 ,  2C057AG93 ,  2C057AG94 ,  2C057AP02 ,  2C057AP16 ,  2C057AP22 ,  2C057AP23 ,  2C057AP52 ,  2C057AP54 ,  2C057AP57 ,  2C057AQ03 ,  2C057AQ06 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14