特許
J-GLOBAL ID：200903070778429830
リングレーザ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鳥井 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-220397
公開番号（公開出願番号）：特開平7-022675
出願日： 1993年07月06日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：
【要約】【目的】 多角形のリングレーザにあって、そのレーザ発振部におけるミラー面が形成される角部の幅が狭くなって、その上に形成される電極の製造上の問題やレーザ発振の特性上の問題などを生ずることがないようにする。【構成】 半導体基板の表面に設けられたレーザ発振要素の積層部を所定のパターンにエッチングすることによってリングレーザのレーザ発振部を形成する際に、角部の幅を広げる付加部をレーザ発振部と一体的に形成した構成とする。
請求項（抜粋）：
裏面電極を有する半導体基板の表面に設けられたレーザ発振要素の積層部を所定のパターンにエッチングすることにより得られる、角部にミラー面が形成された多角形のリング状のレーザ発振部と、そのレーザ発振部の上に形成された電極とからなるリングレーザにおいて、角部の幅を広げる付加部をレーザ発振要素の積層部のエッチングによりレーザ発振部と一体的に形成したことを特徴とするリングレーザ。
IPC (2件)：
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