特許
J-GLOBAL ID:200903070779049250
固体レーザ装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
田澤 博昭 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-255391
公開番号(公開出願番号):特開平6-085354
出願日: 1992年09月01日
公開日(公表日): 1994年03月25日
要約:
【要約】【目的】 シール材の吸光・発熱によるレーザ媒体のシール部における熱光学歪の発生がなく、ビーム品質、出力安定性に優れ、ビーム品質や出力安定性の経年変化も少なく、また、高集束性ビームの伝搬に適した構造の固体レーザ装置を得る。【構成】 レーザ媒体の全反射面における冷媒のシール部近傍にコーティングされた低屈折率膜に、レーザビームの迷光や励起光に対して高い反射率を持つ反射膜をさらにコーティングし、また、その反射膜として金属膜を用い、また、その反射膜の上にさらに冷媒に対して耐久性のある保護膜をコーティングし、また、低屈折率膜を全反射面のスラブ端面より1ビーム幅に相当する全反射領域の全面にコーティングした。
請求項(抜粋):
レーザビームを内部全反射させる対向した一対の光学的平滑面を有する、断面形状が略矩形のスラブ型のレーザ媒質と、前記レーザ媒質を光励起する励起光源と、前記レーザ媒質を前記光学的平滑面より冷却する冷媒と、前記レーザ媒質を収容する筐体と、前記レーザ媒質の前記筐体に対する支持を前記光学的平滑面において行うとともに、前記冷媒のシールを行うシール材と、前記レーザ媒質より低い屈折率を有し、前記シール材によるシール部を含んだ前記光学的平滑面にコーティングされた低屈折率膜と、前記レーザビームの迷光、および前記レーザ媒質の励起光に対して高い反射率を持ち、前記低屈折率膜の前記シール部近傍にコーティングされた反射膜とを備えた固体レーザ装置。
IPC (2件):
FI (2件):
H01S 3/04 L
, H01S 3/02 Z
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