特許
J-GLOBAL ID：200903070785021731
ウエハ保持具
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-290204
公開番号（公開出願番号）：特開平8-148453
出願日： 1994年11月24日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：
【要約】【目的】 ガイド部材の消耗,及び研磨速度の低下を軽減し、また滞留研磨材を除去することが可能なウエハ保持具を提供すること。【構成】 リテーナ6の表面には、微細なダイヤモンド粒7が、鋳鉄等のメタルボンドにて多数埋め込まれている。吸着部3上にウエハ8を載置した場合、ウエハ8の上面とリテーナ6の上面との差は 0.2mm以下となるように構成されている。研磨パッド10がウエハ8を研磨すると同時的に、研磨パッド10がダイヤモンド粒7によりシーズニング(目たて)される。
請求項（抜粋）：
ウエハを研磨パッドと接触させて研磨するために、リテーナに内嵌させた状態でウエハを保持するウエハ保持具において、前記リテーナは、ブラシで構成されており、前記研磨パッドと対向する面に研磨パッドの再生手段を備え、該再生手段は、ダイヤモンド粒又はSiC,SiN等のセラミックス粒を敷き詰めたもので構成されていることを特徴とするウエハ保持具。
IPC (5件)：
H01L 21/304 321
, B24B 37/00
, B24B 37/04
, B24B 41/06
, H01L 21/68
