特許

J-GLOBAL ID：200903070786976026

金属複合酸化物膜の製造方法

発明者： 小林 一三 ,  杉森 由章 ,  山崎 浩 ,  津山 朝子
出願人/特許権者： 日本酸素株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-253240
公開番号（公開出願番号）：特開平6-101049
出願日： 1992年09月22日
公開日（公表日）： 1994年04月12日
要約：

【要約】【構成】 それぞれ純度が99.0%以上のPb(DPM)2 (グラフ(a))、Zr(DPM)4 (グラフ(b))、およびTi(DPM)2 (O-i-C3 H7)2 (グラフ(c))を気相源として用い、CVD法によりPb(Zrx Ti1-x)O3 膜を形成する。【効果】 均質で高機能なPZT膜が得られる。β-ジケトネート金属錯体は、配位結合のため反応性に優れ、揮発性もよく、またすべての原料の性質が類似しているので、反応の制御が容易で均質な成膜が得られる。

請求項（抜粋）：

化学気相析出法によって金属複合酸化物膜を形成する方法において、気相源として、純度が99.0%以上のβ-ジケトネート金属錯体を用いることを特徴とする金属複合酸化物膜の製造方法。

IPC (5件)：

C23C 16/40 ZAA ,  C01G 25/00 ,  C23C 16/18 ,  C23C 16/44 ,  C30B 29/32

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平3-141118
  
• 特開平2-057686