特許
J-GLOBAL ID：200903070791954030
多段縦続接続型圧電デバイス
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-225759
公開番号（公開出願番号）：特開平9-055639
出願日： 1995年08月10日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：
【要約】【課題】 複数の圧電デバイスを立体的に積層する場合であっても厚みを過大にすることなく、薄型、かつ、極めてコンパクトに構成することができる多段縦続接続型圧電デバイスを提供する。【解決手段】 圧電基板表面の一部に凹所を設け、該圧電基板上に励振電極を形成した圧電デバイスをn個積層一体化した。また、前記n個の圧電デバイスを積層する構成において、対向し合う2つの電極がア-ス電位を持つ電極である。
請求項（抜粋）：
圧電基板表面の一部に凹所を設け、該圧電基板上に励振電極を形成した圧電デバイスをn個積層一体化したことを特徴とする多段縦続接続型圧電デバイス。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
出願人引用 (2件)
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特開昭60-123122
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特開昭61-003513
審査官引用 (2件)
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特開昭60-123122
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特開昭61-003513
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