特許

J-GLOBAL ID：200903070793997357

ボート支持受け及びボート搬送装置

発明者： 高橋 喜一
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-277402
公開番号（公開出願番号）：特開平10-107019
出願日： 1996年09月27日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：

【要約】【課題】 ボートの下面の平面精度が悪くてもボートを安定して支持することができ、ボートの揺れを防止できるボート支持受け及びボート搬送装置を提供する。【解決手段】 被処理基板Wを高さ方向に多数枚保持するボート12の下面を支持材29を介して3点支持するボート支持受け30において、上記支持材29のボート支持面29cを球面状に形成している。

請求項（抜粋）：

被処理基板を高さ方向に多数枚保持するボートの下面を支持材を介して3点支持するボート支持受けにおいて、上記支持材のボート支持面を球面状に形成したことを特徴とするボート支持受け。

IPC (4件)：

H01L 21/31 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 511 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/31 F ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 511 B ,  H01L 21/68 A