特許

J-GLOBAL ID：200903070803740384

高さ測定方法及び装置

発明者： 高橋 文之 ,  塚原 博之 ,  大嶋 美隆 ,  西山 陽二 ,  布施 貴史
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 松本 眞吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-151199
公開番号（公開出願番号）：特開平9-329422
出願日： 1996年06月12日
公開日（公表日）： 1997年12月22日
要約：

【要約】【課題】 基準高さに対する対象物の高さをより精度よく測定する。【解決手段】対象物41の面S上の3点の各々について、CCD76の受光面に形成された像がフォーカスするようにX-Y-Zステージ40を移動させ、フォーカスしたときのX-Y-Zステージ40の位置座標を求め、この3点が存在する面Sを求め、音響光学偏向器52とX-Y-Zステージ40とで対象物41上を光走査しながら、投光・副走査部50で対象物41上に形成された光点を光位置検出器62で検出したときの検出出力に基づいて光点の高さHを検出し、高さHを、検出出力時点でのX-Y-Zステージ40の位置と対応させ、高さHを面Sからの高さに変換する。フォーカスした状態で、投光・副走査部50で対象物41上に形成された光点を光位置検出器62で検出したときの光点高さを対象物41のフォーカス位置と対応づける。

請求項（抜粋）：

対象物が搭載され3次元的に移動自在な移動ステージと、該対象物上に斜め方向から光源光を収束照射させる投光手段と、該対象物上に収束照射された光を該対象物上で走査させる光走査手段と、光位置検出器と、該対象物上からの反射光を該光位置検出器の受光面に結像させるための第1光学系とを備えた光位置検出手段と、撮像素子と、該撮像素子の受光面に該移動ステージ上の対象物を結像させるための第2光学系とを備えた基準高さ決定手段と、を用い、該対象物の面上のn点(n≧3)の各々について、該撮像素子の受光面に形成された像がフォーカスするように該移動ステージを移動させ、フォーカスしたときの該移動ステージの位置座標を求め、該n点について求めた該位置座標の点が略存在する面Sを求め、該光走査手段で該走査を行いながら、該投光手段で該対象物上に形成された光点を該光位置検出器で検出したときの該光位置検出器の出力に基づいて該光点の高さHを検出し、該高さHを、該出力の時点での該移動ステージの位置と対応させ、該高さHを該面Sからの高さに変換する、ことを特徴とする高さ測定方法。

IPC (4件)：

G01B 11/02 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/60 311 ,  H01L 21/321

FI (5件)：

G01B 11/02 Z ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/60 311 Q ,  H01L 21/92 604 T ,  H01L 21/92 604 Z