特許
J-GLOBAL ID：200903070804004185
薄板検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高 雄次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-106250
公開番号（公開出願番号）：特開平6-294743
出願日： 1993年04月08日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：
【要約】【目的】 薄板の検査を十分正確に行えるようにする。【構成】 回転軸2が垂直な第1モータ1と、第1モータの回転軸に直角に取り付けられたブラケット3と、回転軸5の延長線が第1モータの回転軸の延長線と交差するようにブラケットに取り付けられた第2モータ4と、第2モータの回転軸に所要角度をなして取り付けられた薄板保持部材6とを備えることにより、第1,第2モータを個別に又は同期させて同方向又は逆方向に駆動することによって、薄板の傾斜角度及び傾斜方向の2自由度の傾斜が可能となる。
請求項（抜粋）：
回転軸が垂直な第1モータと、第1モータの回転軸に直角に取り付けられたブラケットと、回転軸の延長線が第1モータの回転軸の延長線と交差するように上記ブラケットに取り付けられた第2モータと、第2モータの回転軸に所要角度をなして取り付けられた薄板保持部材とを備えることを特徴とする薄板検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/84
, G01N 21/88
, H01L 21/66
