単結晶の引き上げ装置および落下防止装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木村高久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-000105
公開番号（公開出願番号）：特開平11-199373
出願日： 1998年01月05日
公開日（公表日）： 1999年07月27日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】巻き取り制御の精度を高め制御を簡易にした単結晶引き上げ装置の提供。【解決手段】第1の昇降手段13によって、種子結晶12を把持する種子結晶把持部材が、種子結晶12が融液5に接触する融液接触位置まで下降され、融液接触位置から単結晶6に被係合部8が形成される被係合部形成位置までのストロークの間だけ上昇される。第2の昇降手段20によって、単結晶6に形成された被係合部8に係合する係合部材17が配設された単結晶保持部材19が、係合部材17が被係合部8に係合する係合位置まで下降され、単結晶保持部材19が上昇される。ここで、上記第2の昇降手段20によって、単結晶保持部材19が下降方向から上昇方向に変化した時点で、姿勢変化手段21が駆動され、係合部材17の姿勢が非係合姿勢から被係合部8に係合する係合姿勢に変化される。

請求項（抜粋）：

融液に種子結晶を接触させてから前記種子結晶を前記融液から引き上げることによって単結晶を成長させる際に使用される単結晶の引き上げ装置において、索状体に懸架され、当該索状体の一端を昇降させるに応じて回動する回動部材が、設けられた単結晶保持部材を具え、前記単結晶を、前記単結晶保持部材に保持させて、前記索状体の一端を上昇させることによって、前記単結晶を、前記単結晶保持部材とともに上昇させるようにしたことを特徴とする単結晶の引き上げ装置。

IPC (3件)：

C30B 15/30 , C30B 15/32 , C30B 29/06 502

FI (3件)：

C30B 15/30 , C30B 15/32 , C30B 29/06 502 F

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