特許
J-GLOBAL ID：200903070804813555
光熱変換測定装置及びその方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-091456
公開番号（公開出願番号）：特開2004-301520
出願日： 2003年03月28日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：
【課題】試料の光熱効果による特性変化を,安定的に高精度で測定でき,さらに,消費電力の増加や高コスト化,S/N比の低下,測定時間の長時間化を防止しながら高感度で測定できること。【解決手段】試料5の光熱効果による屈折率変化を,試料を通過(透過)させた測定光P1における励起光の照射による位相変化を光干渉法を用いて測定することによって,即ち,参照光(P2)と測定光(P1)との位相差によって測定する。励起光はチョッパ2によって周期的に強度変調した光を用い,信号処理装置21によってその強度変調周期と同周期成分の位相変化を測定してS/N比を向上させる。さらに,測定光を反射ミラー6で試料に往復通過させることにより,高感度で試料の屈折率変化を測定する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
励起光が照射された試料の光熱効果により生じる前記試料の特性変化を測定する光熱変換測定装置であって,
前記試料に所定の測定光を照射する測定光照射手段と,
前記測定光の照射部に前記励起光を照射することによる前記試料を通過後の前記測定光の位相変化を光干渉法により測定する位相変化測定手段と,
を具備してなることを特徴とする光熱変換測定装置。
IPC (3件)：
G01N25/16
, G01N21/45
, G01N37/00
G01N25/16 C
, G01N21/45 A
, G01N37/00 101
2G040AA02
, 2G040AB07
, 2G040CA23
, 2G040EA06
, 2G040EB02
, 2G040EC04
, 2G059AA01
, 2G059DD00
, 2G059EE09
, 2G059GG01
, 2G059GG04
, 2G059GG10
, 2G059HH02
, 2G059JJ07
, 2G059JJ13
, 2G059JJ22
