特許

J-GLOBAL ID：200903070807628899

走査型プローブ顕微鏡用のプローブおよびその製造方法

発明者： 杉村 博之 ,  中桐 伸行
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団 ,  株式会社ニコン
代理人 (1件)： 三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-276281
公開番号（公開出願番号）：特開平10-123154
出願日： 1996年10月18日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：

【要約】【課題】探針としての微粒子を正確に再現性よく、決められた位置に、取り付けることのできる走査型プローブ顕微鏡用プローブを提供する。【解決手段】カンチレバー72と、カンチレバー72を片持ち支持する支持体12とを有する。カンチレバー72の先端部の予め定められた位置には、探針を取り付けるための位置決めマーク13が形成されている。よって、この位置に探針として微粒子を取り付ける際に、正確にしかも再現性よく取り付けることができる。

請求項（抜粋）：

カンチレバーと、前記カンチレバーを片持ち支持する支持体とを有し、前記カンチレバーの先端部の予め定められた位置には、探針を取り付けるための位置決めマークが形成されていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用のプローブ。