特許
J-GLOBAL ID：200903070810293547
薄膜光電変換素子の製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-250279
公開番号（公開出願番号）：特開平8-116077
出願日： 1994年10月17日
公開日（公表日）： 1996年05月07日
要約：
【要約】【目的】 (1) 可撓性基板の成膜時の温度上昇によって生じるしわを除去する。 (2) 長尺基板の重いコアの装着・取外しを容易にする。 (3)それぞれ基板表裏への成膜を含む二つの搬送径路を狭い面積に配置する。【構成】 (1) 成膜後に水冷ロールを可撓性基板に接触させて温度を下げ、しわを取除く。 (2) 送り室および巻き取り室の室外にそれぞれコアの回転機構、昇降機構および前後移動機構を備える。 (3) 二つの搬送径路を一部のみ平行にし、そのあと両側に曲げて基板の表裏への成膜は別個にの経路で行う。
請求項（抜粋）：
送り室から巻き取り室へ回転駆動される搬送ロールと押さえロールとの間を通して面が鉛直面内にあるようにして搬送される可撓性基板の表面上に、一つあるいは複数の成膜室内で基板をはさんで対向する電極間に電圧を印加して成膜するものにおいて、円柱面が成膜室を出た基板に接触する、冷媒の通流によって冷却されたロールを備えたことを特徴とする薄膜光電変換素子の製造装置。
引用特許：
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