特許

J-GLOBAL ID：200903070824895108

水晶振動子

発明者： 梅木 三十四 ,  吉松 昌裕 ,  井上 孝弘
出願人/特許権者： 日本電波工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-330977
公開番号（公開出願番号）：特開2002-141760
出願日： 2000年10月30日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：

【要約】【目的】振動周波数の調整を容易にして生産性を高められる水晶振動子を提供する。【構成】イオン化された元素を水晶片の主面から注入し、前記元素の質量付加によって前記水晶片の振動周波数を高い方から低い方へ調整した構成とする。また、イオン化された元素を水晶片の主面から注入して非晶質化層を形成し、前記非晶質化層をエッチングにより減じて前記水晶片の振動周波数を低い方から高い方へ調整した構成とする。また、水晶片の主面上に非晶質化層を形成し、前記非晶質化層をエッチングにより減じて前記水晶片の振動周波数を低い方から高い方へ調整した構成とする。

請求項（抜粋）：

イオン化された元素を水晶片の主面から注入し、前記元素の質量付加によって前記水晶片の振動周波数を高い方から低い方へ調整したことを特徴とする水晶振動子。

IPC (4件)：

H03H 3/04 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  H03H 9/19

FI (4件)：

H03H 3/04 B ,  H03H 9/19 A ,  H01L 41/18 101 A ,  H01L 41/22 Z

Fターム (9件)：

5J108AA02 ,  5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108DD02 ,  5J108HH04 ,  5J108HH05 ,  5J108KK05 ,  5J108MM08 ,  5J108NB03