特許

J-GLOBAL ID：200903070825917555

プラズマシステム

発明者： クレイグ エー. ロデリック
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-138677
公開番号（公開出願番号）：特開平10-083898
出願日： 1997年05月28日
公開日（公表日）： 1998年03月31日
要約：

【要約】【課題】 ドーム内のコイルアンテナの高電圧端子近傍での虫穴(ウォームホール)が防止され、エッチングチャンバ内で使用される石英ドームの寿命を延ばす。【解決手段】 作動中に内部でプラズマが生成される内側キャビティを画成するチャンバと;作動中に電源から前記チャンバ内のプラズマへパワーを結合し、第1と第2の端子を有するのコイルと;前記第1の端子が、第1のキャパシタを介して基準ポテンシャルに結合するように成した。前記第1のキャパシタと;該前記第2の端子が第2のキャパシタを介して電源に結合するように成した、前記第2のキャパシタと;を備える、電源に結合されたプラズマシステム。

請求項（抜粋）：

高周波数電源に結合するプラズマシステムであって:作動中に内部でプラズマが生成される内側キャビティを画成するチャンバと、作動中に前記電源からの電力を前記チャンバ内のプラズマへ結合するコイルであって、第1の端子と第2の端子とを有する前記コイルと、第1のキャパシタであって、前記第1の端子が前記第1のキャパシタを介して基準ポテンシャルに結合する、前記第1のキャパシタと;第2のキャパシタであって、前記第2の端子が前記第2のキャパシタを介して電源に結合する、前記第2のキャパシタと;を備えるプラズマシステム。

IPC (3件)：

H05H 1/46 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/205

FI (4件)：

H05H 1/46 L ,  H05H 1/46 M ,  C23F 4/00 A ,  H01L 21/205