光学的測定装置および傾斜測定方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊藤武久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-398023
公開番号（公開出願番号）：特開2001-215114
出願日： 2000年12月27日
公開日（公表日）： 2001年08月10日
要約：

【要約】【課題】光学的測定装置において、試料表面の局所的な傾斜および凹凸を確定し、測定装置の光軸に対する試料表面の傾斜ずれを補正し、この補正を高精度で且つ短時間で行い、試料表面のフォーカシングとは切り離して行なわれるように改良する。【解決手段】方向チェック光線(30)は実質的に角度二分線(25)の方向において測定個所(M)に指向している。方向チェック光線(30)の戻り反射光線を位置検出用の平面検出器に結合させるための光学的手段が設けられている。平面検出器が評価回路(46)と接続されている。評価回路(46)の出力部に、試料表面上の法線の方向が角度二分線(25)の方向と一致するような所定の位置に平面検出器上での戻り反射光線の位置が対応するまで試料(P)を載置した試料テーブル(12)を傾動させる調整システム(47,47a)のための調整命令を提供可能である。

請求項（抜粋）：

入射光線(23)が、偏光された光と90 ゚以外の角度(α)を成して試料(P)の表面の測定個所(M)に指向され、且つ反射した出射光線(24)を検査することにより試料の特性、有利には層厚に関する情報を得るようにした楕円偏光計(45)と、試料表面上の法線と、入射光線(23)と出射光線(24)の成す角度を二分する角度二分線(25)との方向のずれを検出して修正するための装置とを備えた光学的測定装置において、方向チェック光線(30)が実質的に角度二分線(25)の方向において測定個所(M)に指向していること、方向チェック光線(30)の戻り反射光線を位置検出用の平面検出器に結合させるための光学的手段が設けられていること、平面検出器が評価回路(46)と接続されていること、評価回路(46)の出力部に、試料表面上の法線の方向が角度二分線(25)の方向と一致するような所定の位置に平面検出器上での戻り反射光線の位置が対応するまで試料(P)を載置した試料テーブル(12)を傾動させる調整システム(47,47a)のための調整命令を提供可能であること、を特徴とする光学的測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/26 , G01B 11/00 , G01B 11/06

FI (3件)：

G01B 11/26 Z , G01B 11/00 B , G01B 11/06 Z

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