特許

J-GLOBAL ID：200903070828951665

β-ジケトン化合物とIV族金属のグリコラートとの錯体

発明者： 阿久津 光男 ,  久保田 直宏 ,  増子 哲史 ,  山田 直樹
出願人/特許権者： 旭電化工業株式会社
代理人 (1件)： 羽鳥 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-267387
公開番号（公開出願番号）：特開平10-114781
出願日： 1996年10月08日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：

【要約】【課題】 他のCVD材料との反応性が低く、混合物としても揮発特性が変化しない、CVD材料として有用な金属錯体化合物を提供すること。【解決手段】 本発明のβ-ジケトン化合物とIV族金属のグリコラートとの錯体は、下記〔化1〕の一般式(I)で表されるものである。【化1】

請求項（抜粋）：

下記〔化1〕の一般式(I)で表される、β-ジケトン化合物とIV族金属のグリコラートとの錯体。【化1】

IPC (6件)：

C07F 7/28 ,  C07F 7/00 ,  C07F 7/22 ,  C07F 7/24 ,  C23C 16/00 ,  C23C 16/40

FI (6件)：

C07F 7/28 F ,  C07F 7/00 A ,  C07F 7/22 U ,  C07F 7/24 ,  C23C 16/00 ,  C23C 16/40