特許
J-GLOBAL ID：200903070831143251
ダイシング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-183404
公開番号（公開出願番号）：特開2003-007647
出願日： 2001年06月18日
公開日（公表日）： 2003年01月10日
要約：
【要約】【課題】加工部でダイシングシートを引き伸ばして載置固定し、ダイシングシートがたるんでいても、スピン洗浄部でダイシングシートに皺が生じる事がなく、スピン回転でチップが剥がれることのないダイシング装置を提供する。【解決手段】ワーク載置面であるスピンナーテーブル41のスピンナー吸着盤42の上面よりも、フレームFの載置面であるスピンナーフレーム受44のフレーム受面44Aを低い位置に形成し、フレームFを下方に押し付けながらダイシングシートSのたるみをなくしてワークを吸着する。このようにダイシングシートSのたるみをなくして吸着する構造になっているため、ダイシングシートSに皺が寄ってその皺の部分に貼着されているチップCが剥がれて飛び散るという問題が解決される。
請求項（抜粋）：
フレームにダイシングシートを介して貼着されたワークを個々のチップに分割するダイシング装置であって、ワークを加工する回転刃とワークを載置するカッティングテーブルとを有する加工部と、加工されたワークを載置して高速回転するスピンナーテーブルに洗浄水を供給して該ワークを洗浄するスピン洗浄部と、前記ワークを前記カッティングテーブルから前記スピンナーテーブルへと搬送する搬送手段とを有するダイシング装置において、前記スピンナーテーブルは前記ワークの部分を吸着載置するスピンナー吸着盤と前記フレームの部分を載置するスピンナーフレーム受とを有しており、前記スピンナーフレーム受のフレーム受面が前記スピンナー吸着盤の上面よりも低い位置に位置付けられていることを特徴とするダイシング装置。
IPC (2件)：
H01L 21/301
, H01L 21/304 643
H01L 21/304 643 A
, H01L 21/78 W
, H01L 21/78 F
