特許
J-GLOBAL ID：200903070833692600
偏極分析器及び解析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-276023
公開番号（公開出願番号）：特開平11-111209
出願日： 1997年10月08日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：
【要約】【課題】 散乱電子の電子検出器への単位時間当たり総取り込み個数の上限値を高め、短時間で高精度の偏極測定を達成する。【解決手段】 被分析電子線を加速して衝突させる金属のターゲット10と、当該ターゲット10によって散乱された電子線を計数する電子検出器1〜6とを有してなり、散乱電子線の角度分布を測定することに基づき被分析電子線の偏極を測定する形式のものであって、1個のターゲット10を有し且つ電子検出器1〜6の個数が、n>2×m (但し、nは電子検出器の個数であり、mは測定する偏極成分の数である。)の関係を満たす。
請求項（抜粋）：
被分析電子線を加速して衝突させる金属のターゲットと、当該ターゲットによって散乱された電子線を計数する電子検出器とを有してなり、上記散乱電子線の角度分布を測定することに基づき上記被分析電子線の偏極を測定する形式の偏極分析器において、1個のターゲットにつき、電子検出器の個数が下記式の関係を満たすことを特徴とする偏極分析器。n>2×m但し、nは電子検出器の個数であり、mは測定する偏極成分の数である。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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