特許

J-GLOBAL ID：200903070836990009

多段形状の形成方法と磁気ヘッドスライダの製造方法

発明者： 福島 信人
出願人/特許権者： シチズン時計株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-076861
公開番号（公開出願番号）：特開平10-269541
出願日： 1997年03月28日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】 フォトリソグラフィとドライエッチングを用いて基板上に異なる深さを持つ複数の段差を形成する。【解決手段】 所定の基板上に第一のレジストを塗布し、これを所定のマスクを介して露光現像する工程と、第二のレジストを塗布し、前述のマスクとは異なるマスクを介して露光現像する工程と、さらに必要とされる段差の数だけ同様の工程を繰り返し、レジストを積層した後、エッチングにより第一の段差を形成する工程と、アッシングにより一層分のレジストを消失せしめ、再度、エッチングにより第二の段差を形成する工程と、さらに必要とされる段差の数だけ同様の工程を繰り返すことで、異なる深さを持つ複数の段差を得る。

請求項（抜粋）：

所定の基板上に第一のレジストを塗布し、これを所定のマスクを介して露光現像する工程と、第二のレジストを塗布し、前述のマスクとは異なるマスクを介して露光現像する工程と、さらに必要とされる段差の数だけ同様の工程を繰り返し、レジストを積層した後、エッチングにより第一の段差を形成する工程と、アッシングにより一層分のレジストを消失せしめ、再度、エッチングにより第二の段差を形成する工程と、さらに必要とされる段差の数だけ同様の工程を繰り返すことを特徴とする多段形状の形成方法。

IPC (2件)：

G11B 5/60 ,  G11B 21/21 101

FI (2件)：

G11B 5/60 C ,  G11B 21/21 101 L