特許
J-GLOBAL ID：200903070837073778
液晶表示素子およびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
樺澤 襄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-192640
公開番号（公開出願番号）：特開平8-062628
出願日： 1994年08月16日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：
【要約】【目的】 断線および薄膜トランジスタの不良を起こさず生産性が向上した液晶表示素子を提供する。【構成】 ガラス基板2上に、ゲート電極3、ゲート絶縁膜4を形成する。ゲート絶縁膜4上には、半導体層5、エッチングストッパ層6、オーミックコンタクト層7を積層形成する。ゲート絶縁膜4上には、ITOの透明画素電極8を形成する。オーミックコンタクト層7の一端側にはドレイン電極10を形成し、他端側には透明画素電極8に接続したソース電極11を形成する。これらドレイン電極10およびソース電極11は、モリブデン10a ,11a 、アルミニウム10b ,11b およびモリブデン10c ,11c の3層構造にて形成し、アルミニウム10b ,11b の周囲に、酸化膜12,13を形成する。酸化膜12,13を形成した後、レジスト剥離するので、強アルカリのレジスト剥離液で電蝕されることなく、断線の発生が減少する。
請求項（抜粋）：
基板上に走査電極線および信号電極線をマトリクス状に形成し、これら走査電極線および信号電極線の交点にゲート電極、ゲート絶縁膜、活性層、オーミックコンタクト層、ソース電極およびドレイン電極を有する薄膜トランジスタと、画素電極とを配設したアレイ基板と、基板上に対向電極を形成し前記アレイ基板に対向した対向基板と、前記アレイ基板および前記対向基板の間に液晶を備え、前記ソース電極および信号電極線とドレイン電極とは、高融点金属、アルミニウムおよび高融点金属で形成された液晶表示素子において、前記ソース電極および信号電極線とドレイン電極とのアルミニウムの各界面および側面が酸化膜で絶縁されたことを特徴とする液晶表示素子。
IPC (2件)：
G02F 1/136 500
, H01L 29/786
