特許

J-GLOBAL ID：200903070837719554

振動アクチュエータ

発明者： 菅谷 功
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 鎌田 久男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-024646
公開番号（公開出願番号）：特開平10-225147
出願日： 1997年02月07日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】【課題】 異形モード縮退型の振動アクチュエータでは、圧電体に印加した電気エネルギーの一部が振動発生には寄与せず、励振効率が低下する。【解決手段】 2つの電気機械変換部分2A,2Bを有して2種類の振動を縮退させる振動子2を備える振動アクチュエータ1であって、電気機械変換部分2A,2Bそれぞれが、弾性体3と,表面に薄膜状に形成された銀電極4e,4fを有するとともに弾性体3によって保持される圧電体4a,4bと、銀電極4e,4fに接する電極板5a-1とを備え、かつ銀電極4e,4fには、圧電体4a,4bの電気エネルギー入力部及び電気エネルギー非入力部の境界に対応する絶縁部4gが形成される。

請求項（抜粋）：

複数の電気機械変換部分を有して少なくとも2種類の振動を縮退させる振動子を備える振動アクチュエータであって、前記電気機械変換部分それぞれは、弾性体と,表面に薄膜状に形成された第1電極を有するとともに前記弾性体によって保持される電気機械変換素子と、前記第1電極に接する第2電極とを備え、かつ前記第1電極には、前記電気機械変換素子の電気エネルギー入力部及び電気エネルギー非入力部の境界に対応する絶縁部が形成されることを特徴とする振動アクチュエータ。