特許

J-GLOBAL ID：200903070838294786

真空ポンプ

発明者： アルミーン・コンラッド ,  ヴォルフガング・エーバール
出願人/特許権者： プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
代理人 (1件)： 社本 一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-268621
公開番号（公開出願番号）：特開2001-090690
出願日： 2000年09月05日
公開日（公表日）： 2001年04月03日
要約：

【要約】【課題】 大気圧から高真空および超高真空範囲までの全圧力範囲を包含する真空ポンプであって、ポンプが1つの部分からなり、コンパクトな構造を有し、低コストであり、且つ占有床面積の小さい前記真空ポンプを開発する。【解決手段】 本発明は、複数のポンプ・ユニット(14、16、18)からなる真空ポンプを記載する。少なくとも1つのポンプ・ユニットが、並列接続された、ゲーデの構造タイプによる分子ポンプ段(16a)からなっている。この場合、このようなポンプ・ユニットは、それぞれ個々のゲーデ(Gaede)ポンプ段(16c)または並列接続されたゲーデ・ポンプ段(16a、16b)からなる複数の下位ユニット(16a、16b、16c)から組み立てられてもよい。高真空側のポンプ・ユニット(14)は例えばターボ分子ポンプとして構成され、高い圧力を有する側に向かい合うポンプ・ユニット(18)はサイド・チャネル(側路)ポンプとして構成されていてもよい。

請求項（抜粋）：

ガス入口開口(2)およびガス出口開口(4)を備えた1つのハウジング(1)内に設けられた複数のポンプ・ユニット(14、16、18)からなり、この場合、ポンプ・ユニットが回転ガス供給構造部分および固定ガス供給構造部分から形成され、ここで、回転構造部分が駆動装置(8)および軸受要素(10、12)を備えた軸(6)上に装着され、および固定構造部分がハウジング(1)と結合されている真空ポンプにおいて、少なくとも1つのポンプ・ユニット(16)が、並列接続された、ゲーデ(Gaede)の構造タイプによる分子ポンプ段(16a)からなり、この場合、分子ポンプ段(16a)が軸方向に相前後して配置され、および共通の結合通路(34)により、並列供給が行われるように相互に結合されていることを特徴とする真空ポンプ。

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 異なる構成のポンプ区分を備えた摩擦真空ポンプ
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平6-523801   出願人：ライボルトアクチエンゲゼルシヤフト