特許

J-GLOBAL ID：200903070840073932

ポジ型感電離放射線性樹脂組成物

発明者： 山中 司 ,  坂口 新治 ,  小久保 忠嘉 ,  河辺 保雅
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-063862
公開番号（公開出願番号）：特開平7-271037
出願日： 1994年03月31日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】 露光後のベークによる膜収縮が少なく、良好なレジスト形状プロファイル、高解像力と広いプロセスラチチュードを有し、かつ、露光からベークまでの時間や雰囲気等による性能劣化も少ない、性能安定性の良いポジ型感電離放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤、及び一般式[A1]叉は[B1]で表される化合物の少なくとも1種を含有するポジ型感電離放射線性樹脂組成物。【化1】

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤、及び一般式[A1]叉は[B1]で表される化合物の少なくとも1種を含有することを特徴とするポジ型感電離放射線性樹脂組成物。【化1】ここで、R1〜R41: 同一でも異なっていても良く、水素原子もしくは-X-Ra1、-CN、-OD0を表すが、同一ベンゼン環上のものの内1つは一般式(A12)で表される基であっても良い。また同一ベンゼン環上のものの2つがお互いに結合して、環を形成しても良い。【化2】X1〜X10: 単結合、カルボニル基、スルフィド基、スルフォニル基もしくは-C(Rb1)(Rb2)-を表す。但しX3、X4は炭素数2〜8のアルキレン基であっても良い。X: 単結合、-O-、-S-、-CO-、-OCO-、-N(Ra1)CO-もしくは-N(Ra2)-を表す。Ra1: 炭素数1〜10のアルキル基、アルキレン基、シクロアルキル基、ハロアルキル基、アリ-ル基、アルキルアリ-ル基もしくはアラルキル基を表す。Ra2:水素原子叉はRa1を表す。Rb1、Rb2:それぞれ水素原子、メチル基、エチル基もしくは炭素数1〜4のハロアルキル基を表す。Rb1とRb2は互いに結合して脂環式炭化水素残基を形成しても良い。m=0の時はRb1とRb2の少なくとも1つは一般式(A12)で表される基を表す。D0〜D12: 水素原子またはDinhを表し、同一分子中の少なくとも2つは水素原子ではないものとする。また-OD0基叉は-N(Ra2)(Ra1)と一緒になって下記結合を形成しても良い。【化3】Dinh:-Xi-Riで表される基を表す。Xi:単結合、-C(Rb1)(Rb2)-、-C(Rb1)(Rb2)O-、-CO-、-CS-、-COO-、-COS-、-C(Rb1)(Rb2)CO-、-C(Rb1)(Rb2)COO-、-C(Rb1)(ORi)-もしくは-CON(Rb1)-を表す。Ri:水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、アルケニル基、炭素数3〜20のシクロアルキル基、炭素数6〜20のアリ-ル基、クミル基、アダマンタンチル基、-Si(ZiRb3)(ZiRb4)(ZiRb5)基、テトラヒドロピラニル基、ピラニル基もしくは1,3-ジチアインダン-2-イル基を表す。Rb3、Rb4、Rb5:それぞれ炭素数1〜20のアルキル基、シクロアルキル基、アルケニルル基もしくは炭素数6〜20のアリ-ル基を表す。Zi:単結合叉は-O-を表す。i、j、k、m、n1、n2、w、y:それぞれ0または1を表す。

IPC (4件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027