特許
J-GLOBAL ID：200903070845179631
レ-ザ-管
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-298296
公開番号（公開出願番号）：特開平5-110163
出願日： 1991年10月17日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：
【要約】【目的】 イオンレ-ザは発振効率が悪いので放電のパワ-の殆どが熱になる。放電路をなす細管部には耐熱性、熱伝導度、耐スパッタ性が必要である。現在はSiCの細管が使われている。高出力のイオンレ-ザを得ようとすると細管部がSiCでは不十分である。【構成】 イオンレ-ザの放電路を成す細管部をダイヤモンド、ダイヤモンド状炭素膜で作るかまたは耐熱性部材で作りこれをダイヤモンドまたはダイヤモンド状炭素膜で被覆する。熱伝導度、耐スパッタ性、耐熱性が向上するからより高出力のレ-ザ管を得ることができる。
請求項（抜粋）：
放電用貫通穴1を有する複数の細管2と、細管2を内部に取り付けた同数の円盤状部材3と、円盤状部材3を複数個軸方向に連結する金属接続部材5と、円盤状部材3の両端に設けられる金属管部材6、7と、両端部の金属管部材6、7に設けられる放電用の電極8、10と、金属管部材6、7の端に設けられるブリュ-スタ-窓11と、金属接続部材5、円盤状部材3、細管2を冷却するための冷却水ジャケットを含み、放電路である細管部分をダイヤモンドまたはダイヤモンド状炭素膜で全体を作るか、耐熱材料で作りこれをダイヤモンドまたはダイヤモンド状炭素膜で被覆したことを特徴とするレ-ザ管。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/03 F
, H01S 3/04 G
