特許

J-GLOBAL ID：200903070846684097

導波路型電気光学素子およびその製造方法

発明者： 首藤 義人 ,  天野 道之 ,  都丸 暁 ,  戒能 俊邦
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 雨宮 正季
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-045448
公開番号（公開出願番号）：特開平6-043506
出願日： 1991年02月19日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 成形加工性に優れ、かつ大きな電気光学定数を有する材料を使って低電圧駆動可能な導波路型電気光学素子を提供し、またその製造方法を示す。【構成】 ガラス層2を表面に持つシリコン基板1上に、金属からなるコプレーナ線路型電極3を配し、この電極3の中央の中心導体上に、βμ値が500×10-48esu以上である二次光非線形感受率を有する物質が溶解している、もしくは結合している高分子を分極処理した材料からなるチャンネル型導波路層6、およびこの導波路層の上下に、導波路層よりも低屈折率なクラッド層4、7を配した導波路型電気光学素子および平行電極もしくはコロナ放電により分極処理を行なう製造方法。【効果】 成形加工が容易で平行平板電極もしくはコロナ帯電により容易に分極できる高分子材料を用いているために、低い駆動電圧において高効率に光変調ができる。

請求項（抜粋）：

ガラス層を表面に持つシリコン基板上に、金属からなるコプレーナ線路型電極を配し、この電極の中央の中心導体上に、βμ値が500×10-48esu以上である二次光非線形感受率を有する物質が溶解している、もしくは結合している高分子を分極処理した材料からなるチャンネル型導波路層、およびこの導波路層の上下に、導波路層よりも低屈折率なクラッド層を配した構造をとることを特徴とする導波路型電気光学素子。

IPC (2件)：

G02F 1/35 ,  G02B 6/12