電子線装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-302820
公開番号（公開出願番号）：特開2002-110079
出願日： 2000年09月29日
公開日（公表日）： 2002年04月12日
要約：

【要約】【課題】インレンズ方式の走査電子顕微鏡において、含まれる試料情報の異なる3種類の二次信号(SE,BSE_L,BSE_H)をそれぞれ任意の割合で加算した試料信号を生成する。【解決手段】試料から発生する発生角の異なる反射電子をそれぞれ衝突によって二次電子に変換させる複数の信号変換手段と、該信号変換手段による二次電子と試料から発生する二次電子信号を検出する複数の検出手段と、前記試料から発生する二次電子の検出量を制御する複数の信号制御手段および、該複数の信号検出手段の信号を加算する信号加算手段を設ける。【効果】観察目的に応じた試料信号の選択が可能となる。

請求項（抜粋）：

電子源から放出された一次電子ビームを対物レンズで細く絞るビーム収束手段と、該一次電子を試料上で走査するビーム走査手段と、該ビーム走査によって試料から発生する二次信号により試料の拡大像を表示する像表示手段を有し、対物レンズよりも電子源側に、試料から発生する二次信号の内、エネルギーが高く、かつ、試料からの放出角度の範囲が互いに異なる信号電子(BSE_L,BSE_H)をそれぞれ別々にエネルギーの低い信号電子に変換する複数の信号変換手段と、試料から直接発生するエネルギーの低い二次信号電子(SE)と前記複数の信号変換手段で変換された信号電子とを検出する複数の信号検出手段と、該信号検出手段で検出される信号電子の内、試料から直接発生したエネルギーの低い信号電子(SE)の検出量を制御する信号制御手段と、該複数の信号検出手段の信号を加算する信号加算手段とを具備する電子線装置において、該信号加算手段は各々の加算信号の信号レベルをそれぞれ独立に設定する加算比制御手段を具備し、該加算比制御手段と該信号制御手段との組み合わせ動作により、試料から発生する低エネルギーの二次信号(SE)と試料からの放出角度の異なる高エネルギーの二次信号(BSE_L,BSE_H)とがそれぞれ異なる可変の比率(K1,K2,K3)で加算された試料信号:K1×SE+K2×BSE_L+K3×BSE_Hを生成することを特徴とする電子線装置。

IPC (3件)：

H01J 37/244 , G01N 23/225 , H01J 37/28

FI (3件)：

H01J 37/244 , G01N 23/225 , H01J 37/28 B

Fターム (23件)：

2G001AA03 , 2G001BA07 , 2G001BA14 , 2G001CA03 , 2G001DA01 , 2G001GA01 , 2G001GA06 , 2G001GA09 , 2G001GA10 , 2G001GA13 , 2G001HA01 , 2G001HA12 , 2G001HA13 , 2G001JA03 , 2G001JA13 , 5C033NN01 , 5C033NN02 , 5C033NP01 , 5C033NP04 , 5C033NP06 , 5C033UU02 , 5C033UU04 , 5C033UU05

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