荷電粒子ビーム照射装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井桁貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-103162
公開番号（公開出願番号）：特開平5-299050
出願日： 1992年04月22日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】データを書き換えるだけで属性の変化に対応でき、システム運用の柔軟性向上を図る。【構成】対象試料を分類して固有の試料分類番号(S0 ......Sn-1 )を付与する分類番号付与手段6と、動作パラメータ(P0 ......Pm-1 )を格納する格納部を有し試料分類番号と同じ内容のファイル番号(F0 ......Fn-1 )を持つ分類数nと同数のパラメータファイル7と、動作パラメータと所定の更新モード番号(M0 ......Mn-1 )とを関連付け更新モード番号に対応させて動作パラメータの属性を表す情報を格納するパラメータモードファイル8と、任意の更新対象動作パラメータの番号Pj に基づいてパラメータモードファイルから関連する更新モード番号MX の内容を取り出し、内容とファイル番号とを順次に照合して更新すべきパラメータファイルを特定する更新ファイル特定手段9とを備える。

請求項（抜粋）：

ビーム発生源(1)からの荷電粒子ビーム(2)を光学的に走査して試料(3)上に照射する電子光学系(4)を備え、前記光学系(4)を構成する各要素及び前記ビーム発生源の調整された動作パラメータ(P0 、P1 、......Pm-1 )によって動作をする荷電粒子ビーム照射装置において、対象となる全ての試料を所定の条件で分類すると共に各分類ごとに固有の試料分類番号(S0 、S1 、......Sn-1 )を付与する分類番号付与手段(6)と、前記動作パラメータを格納する格納部を有すると共に前記試料分類番号(S0、S1 、......Sn-1 )と同じ内容のファイル番号(F0 、F1 、......Fn-1 )を持つ前記分類数(n)と同数のパラメータファイル(7)と、前記動作パラメータ(P0 、P1 、......Pm-1 )と所定の更新モード番号(Mi:iは0、1、......n-1)とを関連付けると共に該更新モード番号に対応させて前記動作パラメータの属性を表す情報を格納するパラメータモードファイル(8)と、任意の更新対象動作パラメータの番号をPj とするとき、該番号Pj に基づいて前記パラメータモードファイルから関連する更新モード番号MX の内容を取り出し、該内容と前記ファイル番号(F0 、F1 、......Fn-1 )とを順次に照合して更新すべきパラメータファイルを特定する更新ファイル特定手段(9)と、を備えたことを特徴とする荷電粒子ビーム照射装置。

IPC (5件)：

H01J 37/28 , G01N 23/225 , G21K 5/04 , H01J 37/30 , H01L 21/027

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