特許

J-GLOBAL ID：200903070860541703

微小析出物観察用試料の調整方法

発明者： 関 彰
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-123390
公開番号（公開出願番号）：特開平5-312696
出願日： 1992年05月15日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：

【要約】【構成】 観察対象の析出物12の位置を確認し、析出物12を覆うように試料11a表面部にマスク13パターンを形成し、その後非マスキング部にエッチング処理を施して析出物12を内包する針状試料11cを作り、この後針状試料11c先端部に残存するマスク13を除去し、析出物12の観察が可能な厚さまで析出物12の近傍をスパッタリング法等により除去する微小物観察用試料の調整方法。【効果】 微量の析出物の中から観察したい析出物12を確実に観察することができ、したがって作製すべき試料11cを少なくすることができ、析出物12を短時間に観察することができる。その結果、析出物12に関する品質情報を適時に解析・フィードバックして製造工程の改善を図ることができる。

請求項（抜粋）：

観察対象の析出物の位置を確認し、該析出物を覆うように試料表面部にマスクのパターニングを行い、その後非マスキング部にエッチング処理を施して前記析出物を内包する針状試料を作り、この後該針状試料先端部に残存するマスクを除去し、前記針状試料の前記析出物の近傍を、前記析出物の観察が可能な厚さまで除去することを特徴とする微小析出物観察用試料の調整方法。