特許
J-GLOBAL ID：200903070862749450
形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-104441
公開番号（公開出願番号）：特開平6-058749
出願日： 1992年04月23日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：
【要約】【目的】超音波を利用して対象物の外観を計測する形状測定装置において、最適分解能となるように制御する最適ビーム幅制御部を有し自動的に探査分解能の向上を図る。【構成】送波ビームを整相する送波ビーム整相部1と超音波を出力する送波部4と、受信信号を整相する受波プリフォームドビーム合成部12と、クロスポイントまでの距離を計測する距離計測部17と、形状を計算する形状計算部18と、最適ビーム幅を制御する最適ビーム幅制御部21とを有する。【効果】対象物の大きさに従って自動的にシステム性能からいって最適分解能で計測できる効果がある。
請求項（抜粋）：
超音波を利用してファンビーム状の送波ビームとファンビーム状の受波ビームとのクロスポイントを計測し、この計測ポイントを走査して対象物の外観を計測する形状測定装置において、概査によって対象物の概略の大きさを計測したのちに、精査するために前記対象物の大きさに従って自動的に最適ビーム間隔となるように制御する最適ビーム幅制御部とを有することを特徴とする形状測定装置。
IPC (2件)：
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