特許

J-GLOBAL ID：200903070866020349

減速管

発明者： 藤原 修一
出願人/特許権者： 日新電機株式会社
代理人 (1件)： 川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-216436
公開番号（公開出願番号）：特開平6-044935
出願日： 1992年07月21日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：

【要約】【目的】 高エネルギ-のイオンビ-ムを低エネルギ-のビ-ムに減速する時、イオン電流が大きいと、減速の終期に空間電荷密度が高くなるので、イオン同士のク-ロン斥力のためにビ-ムが発散する。一部のビ-ムは反転しイオン源に戻ることがある。これはイオン源に悪影響を及ぼすしビ-ム電流が減少するので望ましくない。【構成】 減速管は高電位の電極から、大地電極までイオンビ-ムを走行させて運動エネルギ-を奪い減速させるものである。大地電極の直前にレンズ電極を設けて、これにイオンビ-ムを収束させる電圧を印加する。

請求項（抜粋）：

イオン源で発生し加速されたイオンビ-ムを減速するための減速管であって、高電圧を印加した電極と、これよりも低い電位に保持され二次電子がイオン源に戻るのを防ぐサプレッサ電極と、イオンに斥力を及ぼす電圧を印加したレンズ電極と、大地電位に保持した大地電極とがイオンビ-ムの流線に沿って設けられていることを特徴とする減速管。