特許

J-GLOBAL ID：200903070866672923

光案内装置

発明者： ブルース ジェイコブセン
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-009690
公開番号（公開出願番号）：特開2001-203136
出願日： 2000年01月19日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、光源と光学系との間に配置され、前記光源側から前記光学系の物体面側に向けて出射された光によってその光学系の視野内の各位置を順に照明する光案内装置に関し、光路長の変化および振幅の損失を抑えること、視野が円弧状である場合の干渉計測に好適な光案内装置を提供することを目的とする。【解決手段】 光源と光学系との間に配置され、前記光源側から前記光学系の物体面側に向けて出射された光によってその光学系の視野内の各位置を順に照明する光案内装置であって、光源側からの入射光を前記視野に導く単数または複数の反射面と、前記反射面を有し、かつ前記反射面における前記入射光の入射位置からその入射光の光路に平行な方向に延ばした直線の周りに回動可能な回動部材とを備えたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

光源と光学系との間に配置され、前記光源側から前記光学系の物体面側に向けて出射された光によってその光学系の視野内の各位置を順に照明する光案内装置であって、前記光源側からの入射光を前記視野に導く単数または複数の反射面と、前記反射面を有し、かつ前記反射面における前記入射光の入射位置からその入射光の光路に平行な方向に延ばした直線の周りに回動可能な回動部材とを備えたことを特徴とする光案内装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 517 ,  H01L 21/30 531 A

Fターム (6件)：

5F046BA05 ,  5F046CB02 ,  5F046CB05 ,  5F046CB22 ,  5F046GB01 ,  5F046GB07