特許
J-GLOBAL ID：200903070870800871
半導体基板のマガジンラックからの取出し供給装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石井 暁夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-258451
公開番号（公開出願番号）：特開2001-085492
出願日： 1999年09月13日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：
【要約】【課題】 マガジンラック1内に多段状に収納されている半導体基板2を、マガジンラックから取り出したのち、所定の供給箇所8に対して、常に略同じ位置に揃えて載置・供給する。【解決手段】 前記マガジンラック1内の半導体基板2の下側に挿入したウエハーチャック部材16にて、前記半導体基板をその上面に載せた状態に持ち上げ、次いで、前記ウエハーチャック部材16を、これを枢着した第2スイング部材15に対する回動、この第2スイング部材を枢着した第1スイング部材13に対する回動、及びこの第1スイング部材を枢着したヘッド部材11の回動により、前記ヘッド部材11の上部まで移動して、その上面の半導体基板2の外周面を位置決めストッパー18に接当したのち、前記ウエハーチャック部材16を前記供給箇所8に移動して、その上面における半導体基板2を供給箇所8に載せる。
請求項（抜粋）：
鉛直な軸線の周りに往復回動するヘッド部材と、このヘッド部材に基端を鉛直な軸線の周りに往復回動するように枢着した第1スイング部材と、この第1スイング部材の先端に基端を鉛直な軸線の周りに往復回動するように枢着した第2スイング部材と、この第2スイング部材の先端に基端を鉛直な軸線の周りに往復回動するように枢着した平板状のウエハーチャック部材とを備え、前記ヘッド部材、第1スイング部材、第2スイング部材及びウエハーチャック部材の回動により、前記ウエハーチャック部材を半導体基板の複数枚を多段状に収納したマガジンラック内から一旦前記ヘッド部材の上部まで移動する状態を経て半導体基板の供給箇所に移動するように構成する一方、前記ヘッド部材に、前記ウエハーチャック部材が当該ヘッド部材の上部まで移動する終わりの時期においてその上面における半導体基板の外周面が接当する位置決めストッパーを設けたことを特徴とする半導体基板のマガジンラックからの取出し供給装置。
Fターム (6件)：
5F031CA02
, 5F031FA01
, 5F031FA11
, 5F031GA43
, 5F031GA47
, 5F031GA49
