特許
J-GLOBAL ID：200903070873878618
耐熱ロボットハンド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-349330
公開番号（公開出願番号）：特開平6-204316
出願日： 1992年12月28日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：
【要約】【目的】 ヒートステージ及び半導体ウエハ等の被乾燥物からの輻射熱を反射、遮断し、且つ被乾燥物からアーム部への熱伝導を減少させて、減圧された高温のチャンバ内での使用に適した耐熱ロボットハンドを提供する。【構成】 耐熱ロボットハンドは、被乾燥物105を支持しうるハンド部117と、そのハンド部の被乾燥物を支持する側に、間隙を介して並列配置された、輻射熱を反射する熱反射板123とを備える。熱反射板は、断熱支持手段121により、熱歪みを逃す間隙137を以ってハンド部に支持される。ハンド部は、断熱構造の取り付け手段151により断熱空間158を以ってアーム部に結合される。ハンド部の被乾燥物と接触する受け座141は、該ハンド部から独立して別体に構成される。更に、前記反射板は冷却手段161により冷却される。
請求項（抜粋）：
被乾燥物を支持しうるハンド部と、そのハンド部の前記被乾燥物を支持する側に、間隙を介して並列配置された、輻射熱を反射する熱反射板とを備える耐熱ロボットハンド。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B25J 15/00
, H01L 21/304 361
