表面粗さ測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋祐司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-277340
公開番号（公開出願番号）：特開平5-087561
出願日： 1991年09月27日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：

【要約】【構成】被測定物の特定の部位の表面粗さデータをその特定の部位の位置に対応させて記憶する検出信号記憶手段50、及び評価領域をX方向及びY方向に所望長さずつスライドさせながら、前記表面粗さの検出データ及び必要に応じて該位置の座標値を演算し、評価領域毎のパラメータ値を算出して表示するパラメータ演算表示手段52,54(,58)を備えた表面粗さ測定装置。【効果】適切な三次元粗さパラメータ分布を得ることができる。

請求項（抜粋）：

被測定物と相対移動してその被測定面の表面粗さを走査検出する表面粗さ検出手段と、被測定物が与えられた際に、その被測定面の一方向であるY方向に複数個の基準の点を設定し、それら複数個の基準の点から前期Y方向と異なる方向であるX方向に所望一定の距離だけ前期表面粗さ検出手段を検出走査させるように、被測定物と表面粗さ測定手段の相対移動を制御する検出位置制御手段と、被測定物の表面粗さが得られる際に、被測定面の特定部位のX方向及びY方向に関する位置とその特定部位に対応する検出デ-タを対応付けて記憶する検出信号記憶手段と、対応付けられて該記憶手段に記憶された表面粗さデ-タ及び部位の位置に基づき、前期表面粗さ検出手段が検出走査するX方向の検出走査区間及びY方向の走査区間よりも短く設定されたX方向評価区間及びY方向評価区間で囲まれて形成される複数個の評価領域を、X方向及びY方向に所望の距離ずつスライドさせながら、それらの評価領域の表面粗さ検出デ-タ及び必要に応じて検出デ-タに対応する部位の位置の値を演算し、評価領域毎のパラメ-タ値を算出して表示するパラメ-タ演算表示手段と、を備えたことを特徴とする表面粗さ測定装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平3-028708
特開平3-067126
特開昭63-071614

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