特許

J-GLOBAL ID：200903070882742206

変位情報検出装置

発明者： 石塚 公
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-303610
公開番号（公開出願番号）：特開平9-126722
出願日： 1995年10月27日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：

【要約】【課題】 2つの基板間の相対的変位情報としての原点信号とインクリメンタル信号を高分解能で検出することかできる変位情報検出装置を得ること。【解決手段】 光源手段からの光束を第1基板に設けたインクリメンタル信号検出用の位相格子及び原点信号検出用のレンズ手段に各々入射させ、該位相格子とレンズ手段からの変調光を該第1基板と対向配置した第2基板に設けた格子列と原点用のマーク手段に各々入射させ、該格子列と原点用のマーク手段からの変調光を各々受光素子で受光して該第1基板と該第2基板との相対的な変位情報を得ていること。

請求項（抜粋）：

光源手段からの光束を第1基板に設けたインクリメンタル信号検出用の位相格子及び原点信号検出用のレンズ手段に各々入射させ、該位相格子とレンズ手段からの変調光を該第1基板と対向配置した第2基板に設けた格子列と原点用のマーク手段に各々入射させ、該格子列と原点用のマーク手段からの変調光を各々受光素子で受光して該第1基板と該第2基板との相対的な変位情報を得ていることを特徴とする変位情報検出装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G01D 5/36 ,  G01D 5/38

FI (4件)：

G01B 11/00 G ,  G01D 5/36 S ,  G01D 5/36 K ,  G01D 5/38 A