特許

J-GLOBAL ID：200903070885265751

大気圧グロ-放電プラズマ処理法

発明者： 内山 宏
出願人/特許権者： イーシー化学株式会社
代理人 (1件)： 田中 宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-078110
公開番号（公開出願番号）：特開平6-285365
出願日： 1993年04月05日
公開日（公表日）： 1994年10月11日
要約：

【要約】【目的】本発明の目的は、特に被処理物が小型の部品、不定型の小型部品、粉末類、小型の繊維製品のような連続して大気圧グロ-プラズマ処理を行い難い物についての大気圧グロ-放電プラズマ処理法を提供する。【構成】内部の空気を希ガスまたは希ガスと反応ガスの混合ガスで置換したプラスチック製の袋内に被処理物を収納し、大気中に存在する平行電極の間に位置せしめ、平行電極に高周波電圧を印加して袋の内部に大気圧グロ-放電プラズマを発生させて被処理物の表面に親水性または疎水性を付与することを特徴とする大気圧グロ-放電プラズマ処理法である。

請求項（抜粋）：

内部の空気を希ガスまたは希ガスと反応ガスの混合ガスで置換したプラスチック製の袋内に被処理物を収納し、大気中に存在する平行電極の間に位置せしめ、平行電極に高周波電圧を印加して袋の内部に大気圧グロ-放電プラズマを発生させて被処理物の表面に親水性または疎水性を付与することを特徴とする大気圧グロ-放電プラズマ処理法。

IPC (6件)：

B01J 19/08 ,  D06M 10/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 ,  H05H 1/46 ,  C23C 16/50