特許
J-GLOBAL ID：200903070886073210
金属ミラーおよびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-145703
公開番号（公開出願番号）：特開平6-331809
出願日： 1993年05月25日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：
【要約】【目的】 反射率が高く、しかも時間とともに低下するおそれのない安価な金属ミラーを実現する。【構成】 真空槽1を減圧し、基板Wの表面にアンダーコートとAlの反射膜と膜厚0.1から10nmの範囲の不飽和珪素酸化物の保護膜を蒸着する。アンダーコートと保護膜の蒸着は第2の蒸発源4を抵抗加熱することによって行われ、反射膜の蒸着は第1の蒸発源3を電子銃によって加熱して行われる。また、保護膜の堆積速度は、パッキング密度が0.6ないし0.9になるように制御される。保護膜の成膜後、反応ガス導入ライン1bから酸素を導入し、保護膜を透過する酸素によって反射膜の表面を酸化させたのち、真空槽1を大気に開放する。
請求項（抜粋）：
基体の表面に成膜された金属の反射膜と、該反射膜の表面に積層された膜厚0.1から10nmの範囲の保護膜を有し、前記反射膜の表面が酸化されていることを特徴とする金属ミラー。
IPC (2件)：
引用特許：
出願人引用 (2件)
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特開昭58-072106
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特開昭63-048502
審査官引用 (2件)
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特開昭58-072106
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特開昭63-048502
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