特許

J-GLOBAL ID：200903070887557237

反射防止膜及び光学素子

発明者： 網干 順治
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-171093
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004803
出願日： 1999年06月17日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】 従来の反射防止膜は、0〜50°のように広い入射角度範囲で光線が入射する場合、入射角全体に渡る平均反射率が大きく、透過率低下、結像むら、フレア、及びゴーストの問題が発生していた。更に、偏光に対する反射防止効果の差異が大きいという問題があった。【解決手段】本発明の反射防止膜は、反射防止対象の光を透過する基板上に、その光の波長の近傍内にある設計基準波長をλ0 として、前記基板側から順に光学的膜厚が、各々約0.47λ0 の高屈折率物質層、約0. 42λ0 の低屈折率物質層、約0. 29λ0 の高屈折率物質層、及び0. 24λ0 の低屈折率物質層を積層状に具える。

請求項（抜粋）：

反射防止対象の光を透過する基板上に、前記光の波長の近傍内にある設計基準波長をλ0 とすると、前記基板側から順に光学的膜厚が、約0.47λ0 の高屈折率物質層、約0. 42λ0 の低屈折率物質層、約0. 29λ0 の高屈折率物質層、及び0. 24λ0 の低屈折率物質層を積層状に具えることを特徴とする反射防止膜。

IPC (2件)：

G02B 1/11 ,  G02B 1/02

FI (2件)：

G02B 1/10 A ,  G02B 1/02

Fターム (3件)：

2K009AA07 ,  2K009CC03 ,  2K009CC06