特許
J-GLOBAL ID：200903070888654600
ICの異物検査装置及び方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-022334
公開番号（公開出願番号）：特開平7-229842
出願日： 1994年02月21日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：
【要約】【目的】ICリードに付着した異物を検出する。【構成】IC2のリード部分の画像をリード斜面部を”0”に、リード平坦部を”1”にする二値化レベルによる二値かデータをリードの長手方向と垂直な方向に投影し、投影データを二値化してリードの画像を肩部、斜面部、平坦部の領域に分割し、領域ごとに適した二値化レベル、リード幅判定値、リード間判定値を用いて画像を二値化し、異物判定を行う。【効果】リードと濃淡値の差が小さいリード上の異物やリード間に付着した異物を検出する性能が向上する。
請求項（抜粋）：
検査対象のリードがモールド側の平坦な部分の肩部、先端側の平坦部及びこれらの中間に位置する斜面部からなるICを撮像するカメラと、前記カメラからの画像データを入力しAD変換を行い濃淡画像データを出力するAD変換手段と、前記濃淡画像データから前記ICの1辺分のリード全てを含む範囲の検査領域濃淡画像データを切り出す検査領域切り出し手段と、前記検査領域濃淡画像データを前記カメラが受ける反射光量が多い前記リードの平坦部及び肩部のみが”1”となるように二値化する第一の二値化手段と、前記第一の二値化手段で二値化された二値化画像データを入力し前記リードの長手方向と垂直なX方向の各画像素列の”1”の画素数を計測したX投影データを出力する投影手段と、前記検査領域濃淡画像データのうち前記X投影データが所定の値より小さい部分で前記リードの中央部に対応する部分を斜面部画像とし前記所定の値より大きく前記ICのモールド側の部分に対応する部分を肩部画像とし前記所定の値より大きく前記リードの先端側の部分に対応する部分を平坦部画像とするリード領域分割手段と、前記肩部画像、前記斜面部画像及び前記平坦部画像をそれぞれについて個有の二値化レベルで二値化して”1”の画素を前記リードの部分として識別し前記リードに付いた異物を検出する分割領域別異物検出手段とを含むことを特徴とするICの異物検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, G06T 1/00
, H01L 21/66
