特許

J-GLOBAL ID：200903070890137087

放電反応装置

発明者： 神沢 守仁 ,  鈴木 作 ,  小榑 直明 ,  神谷 一郎 ,  村上 武司
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 吉嶺 桂 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-018238
公開番号（公開出願番号）：特開平5-184915
出願日： 1992年01月07日
公開日（公表日）： 1993年07月27日
要約：

【要約】【目的】 ピンホールによる欠陥を除去し、長時間安定に運転でき、高濃度のオゾンが得られるセラミック誘電体を用いた放電反応装置を得る。【構成】 2個の電極間に絶縁性セラミックスからなる誘電体層を介在させた放電反応装置において、該絶縁性セラミックスからなる誘電体層は、放電域内及び/又は接ガス部となる面に絶縁性袖薬を塗布、焼成した表面層を設けるか、絶縁性の金属窒化物からなる表面層を設けるか、高純度Al2 O3 、SiO2 又はそれらの混合物からなる表面層を設けるか、又は、絶縁性袖薬を塗布焼成した表面層の上に、更に絶縁性の金属窒化物、又は高純度のAl2 O3 、SiO2 又はそれらの混合物からなる表面層を設ける。

請求項（抜粋）：

2個の電極間に絶縁性セラミックスからなる誘電体層を介在させた放電反応装置において、該絶縁性セラミックスからなる誘電体層は、放電域内及び/又は接ガス部となる面に、軟化点が700°C以上の絶縁性釉薬を塗布焼成した厚さが50〜300μmからなる表面層を設けたことを特徴とする放電反応装置。

IPC (4件)：

B01J 19/08 ,  C01B 13/11 ,  C04B 41/87 ,  C04B 41/89

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭61-266304
  
• 特開平2-279505
  
• 特開平2-145403