特許
J-GLOBAL ID:200903070892476520

球形窒化ホウ素及びその先駆物質の製造方法、製造設備、及び生成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石田 敬 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-148893
公開番号(公開出願番号):特開2000-327312
出願日: 2000年05月19日
公開日(公表日): 2000年11月28日
要約:
【要約】【課題】 ターボストラティック又は六方晶窒化ホウ素球形粒子の製造方法及び製造装置、並びにそのような方法によって製造された球形窒化ホウ素先駆物質を提供する。【解決手段】 水溶液にホウ素化合物を溶解させ、このホウ素含有水溶液からエアロゾル滴を作り(10)、不活性キャリアーガス(15)とエアロゾル滴を組み合わせて所定の流量のガス流れを作り、この流れを前記所定の流量で炉(17)に供給し、前記炉の温度を少なくとも600°Cに維持し、そしてガス流れの注入と同時に、気体窒素処理剤(18)を炉に注入することを含む球形BNx Oy 先駆物質粒子の製造方法等とする。
請求項(抜粋):
(a)ホウ素化合物を水溶液に溶解させる工程、(b)ホウ素を含有する前記水溶液からエアロゾル滴を作る工程、(c)好ましくはN2 及びArからなる群より選択する不活性キャリアーガスと前記エアロゾル滴を組み合わせて、前記キャリアーガスと前記エアロゾル滴とを組み合わせた所定の流量のガス流れを作る工程、(d)組み合わせた前記ガス流れを前記所定の流量で炉に供給する工程、(e)前記炉の温度を少なくとも600°Cに維持する工程、及び(f)前記組み合わせたガス流れの注入と同時に、気体窒素処理剤を前記炉に注入する工程、を含む球形BNx Oy 先駆物質粒子の製造方法。
FI (3件):
C01B 21/064 G ,  C01B 21/064 H ,  C01B 21/064 J

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