ニアフイールド光学顕微鏡用光導入装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-262235
公開番号（公開出願番号）：特開平5-100168
出願日： 1991年10月09日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：

【要約】【目的】ニアフィールド光学顕微鏡において安定にエバネッセント光を試料に照射する光導入装置を提供する。【構成】シリコン基板101にはこれを貫通する開口部102が形成されている。シリコン基板101の一方の面には絶縁膜106が形成されていて、これにより開口部102の一方の開口が閉塞されている。この閉塞面には反射防止膜111が形成されている。この開口部102には光ファイバー103が挿入され固定されている。開口部102の反対側の絶縁膜106の上には円錐形状の光導波層108が形成されている。光導波層108は先端を除いて金属膜109で覆われていて、これにより先端には光を透過する微小な開口110が形成されている。金属膜109は、開口110を試料の近傍に配置するために利用するトンネル電流を取り出すための電極107に接続されている。

請求項（抜粋）：

ニアフィールド光学顕微鏡において試料に光を導く装置であって、半導体基板と、半導体基板の表面に形成した絶縁膜と、表面の反対側から開けた半導体基板を貫通する開口部と、開口部に装着した光ファイバーと、開口部の反対側に位置する絶縁膜上に形成した円錐形状の光導波層と、光導波層の先端を除いて光導波層の表面を覆う金属膜とを備えているニアフィールド光学顕微鏡用光導入装置。

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