特許
J-GLOBAL ID：200903070908202230
配管用加熱装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
川和 高穂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-216902
公開番号（公開出願番号）：特開平10-047581
出願日： 1996年07月31日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：
【要約】【課題】 半導体を始め液晶等の製造用装置の配管を長手方向に均一に加熱することができる配管用加熱装置を課題とする。【解決手段】 加熱される配管6を周回する配管材よりも熱伝導性の良い均熱材2と、該均熱材を周回する発熱体3と、該発熱体を周回し外部への熱放散を遮断する断熱材5と、該均熱材、発熱体、及び断熱材からなる積層体を前記配管に固定するための外被覆材1と、を備えたことを特徴とする配管用加熱装置である。前記積層体は配管の長手方向に2以上に分割されており、前記外被覆材により該分割された部分を配管に固定することが望ましい。また、前記積層体のうち少なくとも均熱材、及び断熱材が配管の長手方向に割り部7を設け、ここを開いて配管を均熱材内部に挿入し、前記外被覆材により該積層体を配管に固定してもよい。
請求項（抜粋）：
加熱される配管を周回する該配管よりも熱伝導性の良い均熱材と、該均熱材を周回する発熱体と、該発熱体を周回し外部への熱放散を遮断する断熱材と、該均熱材、発熱体、及び断熱材からなる積層体を前記配管に固定するための外被覆材と、を備えたことを特徴とする配管用加熱装置。
IPC (3件)：
F16L 53/00
, B08B 3/10
, B08B 9/02
F16L 53/00 C
, B08B 3/10 Z
, B08B 9/02 Z
