特許
J-GLOBAL ID：200903070911299627
半導体パッケージの検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-088237
公開番号（公開出願番号）：特開平10-227623
出願日： 1997年04月07日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：
【要約】【課題】検査速度および検査精度を向上させる半導体パッケージの端子検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】斜め撮像手段および平面像照明手段の発光スペクトル特性を異ならせると共に、半導体パッケージから斜め撮像手段までの光路上に設けられて、斜め撮像用照明手段の光を透過し平面像撮像用照明手段の光を遮断する第1のフィルタ手段と、半導体パッケージから前記平面像撮像手段までの光路上に設けられて、平面像撮像用照明手段の光を透過し斜め撮像用照明手段の光を遮断する第2のフィルタ手段と、斜め撮像用および平面像撮像用照明手段を同時に点灯し、斜め撮像手段及び平面像撮像手段の撮像データに基づいて半導体パッケージの端子を検査する制御手段とを具えるようにしている。
請求項（抜粋）：
半導体パッケージのパッケージ面を所定の仰角をもって斜め方向から撮像する斜め撮像手段と、半導体パッケージのパッケージ面の平面像を撮像する平面像撮像手段と、前記斜め撮像手段による撮像用に前記パッケージ面を照明する斜め撮像用照明手段と、前記平面像撮像手段による撮像用に前記パッケージ面を照明する平面像撮像用照明手段と、を具え、これら斜め撮像手段及び平面像撮像手段の撮像データに基づいて半導体パッケージの端子を検査する半導体パッケージの検査装置において、前記斜め撮像用照明手段および平面像撮像用照明手段の発光スペクトル特性を異ならせると共に、前記半導体パッケージから前記斜め撮像手段までの光路上に設けられて、前記斜め撮像用照明手段の光を透過し前記平面像撮像用照明手段の光を遮断する第1のフィルタ手段と、前記半導体パッケージから前記平面像撮像手段までの光路上に設けられて、前記平面像撮像用照明手段の光を透過し前記斜め撮像用照明手段の光を遮断する第2のフィルタ手段と、前記斜め撮像用および平面像撮像用照明手段を同時に点灯し、斜め撮像手段及び平面像撮像手段の撮像データに基づいて半導体パッケージの端子を検査する制御手段と、を具えるようにしたことを特徴とする半導体パッケージの検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/24 K
, G06F 15/62 405 Z
