特許

J-GLOBAL ID：200903070916899061

流動性物質排出装置

発明者： セウング-セオク ユー
出願人/特許権者： エルジイ・セミコン・カンパニイ・リミテッド
代理人 (1件)： 中村 純之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-310541
公開番号（公開出願番号）：特開平8-299880
出願日： 1995年11月29日
公開日（公表日）： 1996年11月19日
要約：

【要約】【課題】作業対象物に供給される直前の流動性物質から気泡を除去することが可能な流動性物質排出装置を提供する。【解決手段】流動性物質保管容器と、流動性物質供給ポンプと、流動性物質濾過器と、流動性物質排出機構とを含んで構成する流動性物質排出装置において、流動性物質排出機構は、流動性物質供給ポンプの出口に接続した温度調節機構の端末に設けた連結部31と、連結部31に結合した密封結合部と流動性物質24に混入して移動する気泡25を捕獲する気泡捕獲部と流動性物質24が排出口まで密封状態で移動する流動性物質通路とからなる排出ガン30とを含んで構成する。

請求項（抜粋）：

流動性物質保管容器と、流動性物質供給ポンプと、流動性物質濾過器と、流動性物質排出機構とを含んで構成する流動性物質排出装置において、上記流動性物質排出機構は、上記流動性物質供給ポンプの流動性物質出口に接続した温度調節機構の端末に設けた連結部と、上記連結部に結合された密封結合部と、流動性物質に混入して移動する気泡を捕獲する気泡捕獲部と、上記流動性物質が流動性物質排出口まで密封状態で移動する流動性物質通路とを含んで構成する排出ガンと、を含んで構成することを特徴とする流動性物質排出装置。

IPC (2件)：

B05C 5/00 101 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

B05C 5/00 101 ,  H01L 21/30 564 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-058519
  
• 特公昭63-052771
  
• 特開平3-291913