特許

J-GLOBAL ID：200903070919757330

配管システム

発明者： 渡邊 浩二
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-155492
公開番号（公開出願番号）：特開平11-002384
出願日： 1997年06月12日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：

【要約】【課題】 組み立てた配管の占有面積が小さく、バルブ、フィルタ等の機能部品の交換が容易であり、かつ搬送するガスを均一に加熱し得る配管システムを提供すること。【解決手段】 フィルタ11、エアオペレートバルブ21等が集積されて着脱可能に固定され、内部にガス流路37が形成された集積ブロック31を接続して配管を組み立てる配管システムにおいて、集積ブロック31のガス流路37にほぼ平行にボディの側面部に形成させた溝にテープヒータ41が挿入され、テープヒータ41は温度制御装置47に接続されて通電されることにより、集積ブロック31が加熱されて所定の温度に保持され、エアオペレートバルブ21等を経てガス流路37を搬送されるガスが均一に加熱される。

請求項（抜粋）：

フィルタ、マスフローコントローラ、空気圧制御バルブ等の機能部品が集積して固定され、内部にガス流路が形成された集積ブロックを接続して配管が組み立てられる配管システムにおいて、前記集積ブロックのボディにヒータが取り付けられており、前記ガス流路を搬送されるガスを加熱し得ることを特徴とする配管システム。

IPC (3件)：

F16L 53/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 501

FI (3件)：

F16L 53/00 C ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 501 S