センサデバイスの製造方法、センサデバイスの製造装置、スポッティング装置、及びスポッティング装置の針管体

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：清水善▲廣▼ (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-295277
公開番号（公開出願番号）：特開2003-098172
出願日： 2001年09月27日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
要約：

【要約】【課題】反応物質を検出部の特定の位置に固定化することができるセンサデバイスの製造方法、及びその装置を提供すること。【解決手段】支持体上に形成された検出部の特定の位置に、検知対象物と特異的に反応する反応物質を固定化するセンサデバイスの製造方法であって、前記反応物質を収めるヘッド部と、前記ヘッド部に補給する前記反応物質を収容する反応物質補給部と、前記ヘッド部を上下させる上下可動部と、前記支持体を載置するテーブル部と、前記テーブル部を水平方向に移動させるテーブル駆動部とを備え、前記テーブル駆動部により前記テーブル部を所定の位置に移動させる位置決めステップと、前記位置決めステップの後に、前記上下可動部を可動させ、前記ヘッド部の先端を前記検出部に当接し、前記反応物質を前記検出部にスポッティングするスポッティングステップとを有することを特徴とするセンサデバイスの製造方法。

請求項（抜粋）：

支持体上に形成された検出部の特定の位置に、検知対象物と特異的に反応する反応物質を固定化するセンサデバイスの製造方法であって、前記反応物質を収めるヘッド部と、前記ヘッド部に補給する前記反応物質を収容する反応物質補給部と、前記ヘッド部を上下させる上下可動部と、前記支持体を載置するテーブル部と、前記テーブル部を水平方向に移動させるテーブル駆動部とを備え、前記テーブル駆動部により前記テーブル部を所定の位置に移動させる位置決めステップと、前記位置決めステップの後に、前記上下可動部を可動させ、前記ヘッド部の先端を前記検出部に当接し、前記反応物質を前記検出部にスポッティングするスポッティングステップとを有することを特徴とするセンサデバイスの製造方法。

IPC (7件)：

G01N 33/53 , G01N 1/00 101 , G01N 1/28 , G01N 35/10 , G01N 37/00 102 , H01L 41/09 , C12N 15/09

FI (9件)：

G01N 33/53 M , G01N 33/53 D , G01N 33/53 T , G01N 1/00 101 K , G01N 37/00 102 , G01N 1/28 J , H01L 41/08 U , G01N 35/06 C , C12N 15/00 F

Fターム (43件)：

2G052AA28 , 2G052AB16 , 2G052AD26 , 2G052AD46 , 2G052CA08 , 2G052CA18 , 2G052CA29 , 2G052EB12 , 2G052EB13 , 2G052FD17 , 2G052GA11 , 2G052GA23 , 2G052GA30 , 2G052HA12 , 2G052HA17 , 2G052HA18 , 2G052HB06 , 2G052HC04 , 2G052HC16 , 2G052HC22 , 2G052HC23 , 2G052HC35 , 2G052JA01 , 2G052JA04 , 2G052JA09 , 2G052JA11 , 2G052JA13 , 2G052JA15 , 2G052JA22 , 2G058AA09 , 2G058CB09 , 2G058EA02 , 2G058EA11 , 2G058EA14 , 2G058EB22 , 2G058ED01 , 2G058ED13 , 2G058GB10 , 2G058GE04 , 4B024AA11 , 4B024AA20 , 4B024CA01 , 4B024HA11

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