特許
J-GLOBAL ID：200903070925014145
欠陥調査装置および欠陥調査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 栄男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-287721
公開番号（公開出願番号）：特開平6-201625
出願日： 1992年10月26日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：
【要約】【目的】 太陽光の照射の影響にかかわらず、壁面の剥離部分、すなわち対象物の欠陥の位置を正確に認識することができる欠陥調査装置および欠陥調査方法の提供を目的とする。【構成】 壁面の一部が浮き上がり、剥離現象が生じている箇所は正常部分に比べて高温になっている。また、太陽の反射光が照射されている部分も高温になる。この表面温度を赤外線センサーで測定し、t時間経過後に再度、測定する。そして、一回目と二回目との温度変化を求める。これにより、高温箇所が移動していることが判れば、その部分は太陽光の反射光に起因する高温箇所であると判断でき、正確に剥離部分を検知できる。
請求項（抜粋）：
対象物の表面温度を測定する温度測定部であって、対象物の表面を複数の区分に二次元分解し、各区分ごとの第一表面温度を測定した後、所定の待機時間が経過した時点で各区分ごとの第二表面温度を測定する温度測定部、前記第一表面温度および前記第二表面温度に基づいて、各区分ごとの表面温度変化を演算する表面温度変化演算部、各区分ごとの前記表面温度変化に基づいて、平均温度変化を演算する平均温度変化演算部、前記平均温度変化と、各区分ごとの前記表面温度変化とを比較して、平均温度変化に対する各区分ごとの相対温度変化を演算する相対温度変化演算部、各区分ごとの前記相対温度変化を表示する表示部、を備えたことを特徴とする欠陥調査装置。
IPC (3件)：
G01N 25/72
, G01M 19/00
, H04N 7/18
