特許

J-GLOBAL ID：200903070925973495

オートフォーカス制御方法および観察装置

発明者： 羽根田 努
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-002670
公開番号（公開出願番号）：特開平8-190045
出願日： 1995年01月11日
公開日（公表日）： 1996年07月23日
要約：

【要約】【目的】 試料表面上の全ての領域に対して容易に合焦点位置を検出することができるオートフォーカス制御方法を提供する。【構成】 試料表面の凹凸幅よりも大きい第1の移動範囲内で対物レンズを上下に移動させながら(S103)、撮像装置により試料の画像を撮像し、その画像により画像処理装置でコントラストを算出し、そのコントラストに基づいて第1の合焦点位置を検出して、その位置に前記対物レンズを設置し(S104)、続いて、第1の合焦点位置から、試料表面の凹凸幅よりも小さい第2の移動範囲内で対物レンズを移動させながら(S106)、撮像装置により試料の画像を撮像し、その画像により画像処理装置でコントラストを算出し、そのコントラストに基づいて第2の合焦点位置を検出し、その位置に最終的に対物レンズを設置する(S107)。

請求項（抜粋）：

観察対象表面の凹凸幅よりも大きい第1の移動範囲内で対物レンズを上下に移動させながら前記観察対象の画像を撮像し、その画像により得られるコントラストデータに基づいて第1の合焦点位置を検出し、その位置に前記対物レンズを設置する第1のステップと、前記第1の合焦点位置から、前記観察対象表面の凹凸幅よりも小さい第2の移動範囲内で前記対物レンズを移動させながら前記観察対象の画像を撮像し、その画像により得られるコントラストデータに基づいて第2の合焦点位置を検出し、その位置に前記対物レンズを設置する第2のステップとを含むことを特徴とするオートフォーカス制御方法。

IPC (3件)：

G02B 7/28 ,  G02B 21/26 ,  G03B 13/36

FI (2件)：

G02B 7/11 J ,  G03B 3/00 A